مقدمه:
امروزه قطعات جدیدی در دست تهیهاند که از لایه های نازک متوالی نیمهرساناهای مختلف تشکیل می شوند . هر لایه دارای ضخامت مشخصی است که به دقت مورد کنترل قرار می گیرد و از مرتبه 10 نانومتر است . اینها ساختارهای ناهمگون نامیده می شوند . خواص الکترونی لایه های بسیار نازک را می توان با بررسی سادهای که برخی از اصول اساسی فیزیک کوانتومی را نشان می دهد به دست آورد [31] .
در این فصل ابتدا به بررسی خواص نیمهرسانا می پردازیم سپس با نیمه رسانا های سیلیکان و ژرمانیوم آشنا می شویم و بعد از آن انواع روشهای رشد رونشستی و ساختارهای ناهمگون را مورد بررسی قرار می دهیم و همچنین ساختارهای دورآلاییده را بررسی می کنیم و در آخر نیز به بررسی کاربرد ساختارهای دورآلاییده و ترانزیستور های اثر میدانی می پردازیم.
1-1 نیمه رسانا:
در مدل الکترون مستقل الکترونهای نوار کاملاً پر هیچ جریانی را حمل نمیکنند این یک روش اساسی برای تشخیص عایقها و فلزات از هم است . در حالت زمینه یک عایق تمام نوارها یا کاملاً پر یا کاملاً خالی هستند اما در حالت زمینه یک فلز حداقل یک نوار به طور جزئی پر است . روش دیگر تشخیص عایقها و فلزات بحث گاف انرژی است گاف انرژی یعنی فاصله بین بالاترین نوار پر و پایینترین نوار خالی .
یک جامد با یک گاف انرژی در عایق خواهد بود. در نتیجه با گرم کردن عایق همچنانکه دمای آن افزایش مییابد بعضی از الکترونها به طور گرمایی تحریک شده و از گاف انرژی به سمت پایینترین نوار غیر اشغال گذار میکنند . جای خالی الکترونها در نوار ظرفیت را حفره مینامند این حفرهها ماهیتی مانند بار مثبت دارند در نتیجه در روند رسانش هم الکترونها و هم حفرهها شرکت میکنند . الکترونهای برانگیخته شده در پایینترین قسمت نوار رسانش قرار میگیرند در صورتیکه حفرهها در بالاترین قسمت نوار ظرفیت واقع میشوند .
جامداتی که در عایق بوده اما دارای گاف انرژی به اندازهای هستند که برانگیزش گرمایی منجر به مشاهده رسانشی در شود به عنوان نیمهرسانا شناخته میشود .
سادهترین عناصر نیمه رسانا از گروه چهارم جدول تناوبی هستند که به آنها نیمهرساناهای تک عنصری میگویند سیلیکون و ژرمانیوم دو عنصر مهم نیمهرساناها هستند . علاوه بر عناصر نیمهرسانا ترکیبات گوناگون نیمهرسانا هم وجود دارد . GaAsیک نمونه نیمهرساناهای است که از ترکیب عناصر گروه (Ga) و گروه(As) بدست آمدهاند و در ساختار زینک بلند متبلور میشوند . همچنین بلور نیمهرسانا از عناصر گروه و هم بوجود میآید که میتواند ساختار زینکبلند داشته باشد و به عنوان نیمهرساناهای قطبی شناخته شدهاند [1].
1-2 نیمه رسانای با گذار مستقیم و غیر مستقیم:
هرگاه کمینه نوار رسانش و بیشینه نوار ظرفیت یک نیمهرسانا در یک نقطه فضایk قرار بگیرند به چنین نیمهرسانایی نیمه رسانای با گذار مستقیم میگویند.
اما اگر کمینه نوار رسانش و بیشینه نوار ظرفیت یک نیمهرسانا در یک نقطه فضای k قرار نگیرند به چنین نیمهرسانایی نیمهرسانای با گذار غیر مستقیم میگوییم.
الکترونها کمینه نوار رسانش و حفرهها بیشینه نوار ظرفیت را اشغال میکنند [1]
(نمودار و تصاویر و جداول در فایل اصلی موجود است)
1-3 جرم موثر :
الکترونها در بلور بطور کامل آزاد نیستند بلکه با پتانسیل متناوب شبکه برهمکنش دارند . در نتیجه حرکت موج ذرهای آنها را نمی توان مشابه الکترونها در فضای آزاد دانست . برای اعمال معادلات معمولی الکترودینامیک به حاملهای بار در یک جامد باید از مقادیر تغییر یافته جرم ذره استفاده کنیم در این صورت اثر شبکه منظور شده و میتوان الکترونها و حفرهها را به صورت حاملهای تقریباً آزاد در بیشتر محاسبات در نظر گرفت .
جرم موثر یک الکترون در ترازی با رابطه معین (E,K) به صورت زیر است :
(نمودار و تصاویر و جداول در فایل اصلی موجود است)
پس انحنای نوار تعیین کننده جرم موثر الکترون است . برای نوار متمرکز حول K=0 رابطه (E;K) در نزدیکی حداقل معمولاً سهموی است :
(1-2)
این رابطه نشان میدهد که جرم موثر در نوار سهموی ثابت است .
انحنای در محل حداقلهای نوار رسانش مثبت ولی در محل حداکثرهای نوار ظرفیت منفی است . بنابراین الکترونها در نزدیکی بالای نوار ظرفیت دارای جرم موثر منفی هستند . الکترون-های نوار ظرفیت با بار منفی و جرم منفی در یک میدان الکتریکی در همان جهت حفرههای با بار و جرم مثبت حرکت میکنند . در جدول زیر جرمهای موثر بعضی از مواد آورده شده است . جرم موثر الکترون با و جرم موثر حفره با نشان داده می شود [28] .
-4 نیمهرسانای ذاتی :
یک بلور نیمهرسانای کامل فاقد هرگونه ناخالصی یا نقائص بلوری به نام نیمهرسانای ذاتی شناخته میشود . در چنین مادهای هیچگونه حامل آزادی در صفر کلوین وجود ندارد زیرا نوار ظرفیت از الکترونها پر شده و نوار رسانش خالی است . در دماهای بالاتر با برانگیزش گرمایی الکترون-های نوار ظرفیت به نوار رسانش از طریق گاف نواری زوج-های الکترون حفره تولید میشود . این زوجها تنها حاملهای موجود در ماده ذاتی هستند .
بدلیل تولید زوج الکترونها و حفرهها تراکم از الکترونهای نوار رسانش (تعداد الکترونها در هر سانتی متر مکعب ) برابر با تراکم از حفره-ها در نوار ظرفیت (تعداد حفرهها در هر سانتی متر مکعب ) است . هر یک از این تراکم حاملهای ذاتی را معمولاً با نمایش میدهند . پس برای ماده ذاتی داریم :
فرمول
برانگیختی حاملهای ذاتی به طور نمایی به بستگی دارد که در آن Eg گاف انرژی است و این بستگی به صورت رابطه زیر است [38]:
فرمول
مقدار ni در دمای اتاق برای Si، Ge و GaAs به ترتیب برابر با (cm-3 )1010 × 45/1، (cm-3 )1012 × 5/2 و (cm-3 )106 × 79/1 است .
(نمودار و تصاویر و جداول در فایل اصلی موجود است)
1-5 نیمهرسانای غیر ذاتی و آلایش :
علاوه بر حاملهای ذاتی تولید شده با گرما میتوان با وارد کردن تعمدی ناخالصی به بلور حاملهای اضافی در نیمهرساناها بوجود آورد . این فرایند مرسوم به آلایش متداولترین روش برای تغییر رسانایی در نیمهرساناهاست .
با عمل آلایش میتوان بلور را طوری تغییر داد که دارای اکثریتی از الکترونها یا حفرهها بشود . پس توسط آلایش دو نوع نیمهرسانا بوجود میآید : نوع (اکثریت الکترونی) و نوع (اکثریت حفرهای ). هنگامیکه بر اثر آلایش در یک بلور تراکم حالت تعادل حامل-های آن و با تراکم ذاتی حاملها تفاوت داشته باشد گوییم ماده غیر ذاتی است .
هنگامیکه ناخالصیها یا نقصهای شبکه در یک بلور تقریباً کامل وارد میشوند ترازهای اضافی در ساختمان نوار انرژی و معمولاً درون گاف نوار ایجاد میشود.مثلاً یک ناخالصی از ستون پنجم جدول تناوبی (p و As و Sb ) تولید یک تراز انرژی در نزدیکی نوار رسانش از Si یا Ge میکند. این تراز در صفر کلوین توسط الکترونها پر شده و انرژی گرمایی خیلی کمی برای برانگیختن این الکترونها به نوار رسانش لازم است . بنابراین در دماهای بیش از چند صدکلوین تمام الکترون-ها در تراز ناخالصی در واقع به نوار رسانش " بخشیده " میشوند. یک چنین تراز ناخالصی را تراز دهنده و ناخالصی-های ستون پنجم در Ge یا Si را ناخالصی-های دهنده مینامند. از شکل (1-3) پیداست که ماده دارای ناخالصی-های دهنده میتواند حتئ در دماهای پایین که تراکم حاملهای ذاتی زوج الکترون حفره قابل توجه نیست تراکم قابل ملاحظهای از الکترونها در نوار رسانش داشته باشد . بنابراین نیمه رساناهای ناخالص شده با تعداد قابل توجهی اتم دهنده دارای در دمای معمولی بوده و یک نیمهرسانای نوع محسوب میشوند.
(نمودار و تصاویر و جداول در فایل اصلی موجود است)
اتمهای ستون (In ,Ga ,Al ,B) در Ge یا Si ترازهای ناخالصی در نزدیک نوار ظرفیت بوجود میآورند . ( شکل 1-4) در دماهای پایین الکترونهای نوار ظرفیت انرژی گرمایی کافی برای رفتن به تراز ناخالصی و بر جا گذاشتن حفرههایی در نوار ظرفیت را دارا هستند . از آنجایی که این نوع تراز ناخالصی الکترونها را از نوار ظرفیت "میپذیرد" به آن تراز گیرنده و ناخالصیهای ستون سوم را ناخالصیهای گیرنده یا پذیرنده در Ge و Si مینامند . همانطور که شکل (1-4) نشان میدهد آلایش با ناخالصیهای پذیرنده میتواند یک نیمه-رسانا با تراکم حفره خیلی بیشتر از تراکم الکترونهای ذاتی بوجود آورد (که یک نیمه-رسانای نوع p نامیده میشود ).
(نمودار و تصاویر و جداول در فایل اصلی موجود است)
در مدل پیوند کووالانسی اتمهای دهنده و پذیرنده را میتوان مطابق شکل (1-5) تجسم کرد . یک اتم Sb ( از ستون پنجم ) در شبکه Si دارای چهار الکترون ظرفیت لازم برای تکمیل پیوندهای کووالانسی به علاوه یک الکترون اضافی است این الکترون در ساختار پیوندی شبکه جا نگرفته و بنابراین دارای یک پیوند سست با اتم Sb است . مقدار اندکی انرژی گرمایی میتواند منجر به غلبه این الکترون اضافی بر پیوند کولنی خود با اتم ناخالصی شده و آن را وارد شبکه کند و در نتیجه برای شرکت در رسانش جریان آزاد خواهد بود . این روند یک مدل کیفی از برانگیختگی الکترونها به خارج از تراز دهنده و به درون تراز رسانش است (شکل 1-3 ). بطور مشابه ناخالصی Al از ستون تنها دارای سه الکترون ظرفیت برای مشارکت در پیوند کووالانسی است (شکل 1-5 ) و بنابراین یک پیوند را ناقص میگذارد. با اندکی انرژی گرمایی این پیوند ناقص میتواند با جابجایی موقعیت الکترونهای پیوند به اتمهای دیگر منتقل شود [28] .
(نمودار و تصاویر و جداول در فایل اصلی موجود است)